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2 recherche sur le mot-clé 'pulvérisation cathodique'
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A. Richardt et A.-M. Durand présentent le procédé de pulvérisation cathodique et en décrivent l'application aux dépôts de films à partir de cibles simples comme les matériaux purs, jusqu'aux cibles complexes comme les pérovskites.![]()
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Christian Manasterski, Auteur | Lausanne (Suisse) : Presses polytechniques et universitaires romandes | 2005Exposé des aspects théoriques, techniques et économiques (rentabilité, exploitation industrielle optimale...), de la pulvérisation cathodique, technique de traitement des surfaces.