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Annie Baudrant, Metteur en scène, réalisateur | Paris : Hermès science publications | Traité EGEM | 2003Passe en revue les étapes élémentaires de la fabrication de composants micro-électroniques : nettoyage, dépôt métallique, dépôt de couche diélectrique, oxydation, dopage, gravure, lithographie. Présente les techniques de caractérisation, indispe[...]
