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Titre :
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Proceedings of the eighth european conference on chemical vapour deposition : Glasgow, Scotland, 9-13 sept. 1991
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Auteurs :
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EUROPEAN CONFERENCE ON CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION (2001), Auteur
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Type de document :
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texte imprimé
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Editeur :
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Les Ulis (Essonne) : EDP sciences, 1991
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Collection :
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Colloque de physique, num. 2
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ISBN/ISSN/EAN :
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978-2-86883-160-6
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Format :
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984 p. / ill. / 25 x 17 cm
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Langues:
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Français
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Index. décimale :
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541
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Mots-clés:
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dépôt chimique en phase vapeur
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congrès
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Résumé :
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Contient les actes de la conférence sur le développement des processus de déposition des vapeurs chimiques, ainsi que leurs applications. Les principaux thèmes abordés sont : enduits et céramique, effets sur l'environnement et étendue des procédés, matériels microélectroniques, électronique optique et autres matériels...
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