Titre :
|
Les interactions ions énergétiques-solides : applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces
|
Auteurs :
|
Aimé Richardt, Auteur ;
Anne-Marie Durand, Auteur
|
Type de document :
|
texte imprimé
|
Editeur :
|
Paris : In fine, 1997
|
ISBN/ISSN/EAN :
|
978-2-84046-047-3
|
Format :
|
383 p. / ill. / 25 x 17 cm
|
Note générale :
|
Bibliogr.
|
Langues:
|
Français
|
Index. décimale :
|
533 (Gaz, Air, Atmosphère, Mécanique des gaz)
|
Mots-clés:
|
décharges électriques dans les gaz
;
couches minces
;
pulvérisation cathodique
|
Résumé :
|
A. Richardt et A.-M. Durand présentent le procédé de pulvérisation cathodique et en décrivent l'application aux dépôts de films à partir de cibles simples comme les matériaux purs, jusqu'aux cibles complexes comme les pérovskites.
|