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Titre :
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Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique
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Auteurs :
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Mireille Mouis, Metteur en scène, réalisateur
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Type de document :
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texte imprimé
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Editeur :
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Paris : Hermès science publications, 2006
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Collection :
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Traité EGEM
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Sous-collection :
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Electronique et micro-électronique
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ISBN/ISSN/EAN :
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978-2-7462-1308-1
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Format :
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448 p. / ill. / 24 x 16 cm
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Note générale :
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Index
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Langues:
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Français
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Index. décimale :
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621.5
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Mots-clés:
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composants électroniques
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propriétés mécaniques
;
électronique
;
matériaux
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microélectronique
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Résumé :
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Description des mécanismes de génération et de relaxation des contraintes internes dans les interconnexions et dans les dispositifs pour la microélectronique, la nanoélectronique, la spintronique et l'optoélectronique. Présentation des effets des contraintes sur les propriétés des composants. Point sur les méthodes de mesure et de prévision des contraintes et sur les perspectives de contrôle.
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