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Titre :
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Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium
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Auteurs :
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Salvador Mir, Metteur en scène, réalisateur
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Type de document :
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texte imprimé
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Editeur :
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Paris : Hermès science publications, 2002
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Collection :
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Traité EGEM
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Sous-collection :
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Electronique et micro-électronique
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ISBN/ISSN/EAN :
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978-2-7462-0507-9
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Format :
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224 p. / ill. / 24 x 16 cm
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Note générale :
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Bibliogr. Index
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Langues:
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Français
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Index. décimale :
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621.5
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Mots-clés:
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microélectronique
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Résumé :
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Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que microdispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement.
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