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A. Richardt et A.-M. Durand présentent le procédé de pulvérisation cathodique et en décrivent l'application aux dépôts de films à partir de cibles simples comme les matériaux purs, jusqu'aux cibles complexes comme les pérovskites.
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Un exposé des éléments de mécanique, de physique et de chimie des techniques associées à la réalisation des dépôts sous vide. Ces éléments technologiques sont accompagnés de la description détaillée de nombreux tours de main qui faciliteront la [...]
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Une première partie rappelle les notions de base de la technique du vide, les propriétés des basses pressions et les méthodes de production et de mesure du vide. Une seconde et une troisième partie traitent de la réalisation des couches minces e[...]
