GEOTRUST SSL CERTIFICATE
| Titre : | Caractérisation et nettoyage du silicium : caractérisation physico-chimique et nettoyage par voie humide |
| Auteurs : | Annie Baudrant, Metteur en scène, réalisateur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Hermès science publications, 2003 |
| Collection : | Traité EGEM |
| Sous-collection : | Electronique et micro-électronique |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-0605-2 |
| Format : | 192 p. / ill. / 24 x 16 cm |
| Note générale : |
Bibliogr. Index |
| Langues: | Français |
| Index. décimale : | 621.5 |
| Mots-clés: | microélectronique ; circuits intégrés ; conception et construction ; silicium ; substrats |
| Résumé : |
Passe en revue les étapes élémentaires de la fabrication de composants micro-électroniques : nettoyage, dépôt métallique, dépôt de couche diélectrique, oxydation, dopage, gravure, lithographie. Présente les techniques de caractérisation, indispensables pour juger de la qualité des procédés. Pour chaque étape, sont détaillés le procédé, les équipements et la physique des techniques. |
Exemplaires
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire | |||||
